用于抑制晶体管阵列中的阈值电压的布局灵敏度的方法

摘要

一种用于平滑集成电路布局中的阈值电压的变化的方法。该方法开始于识别与布局中的晶体管关联的复合表面。处理这样的复合表面以影响与这样的表面邻近的填隙离子的复合，由此最小化布局中的晶体管的阈值电压的变化。