一种铝镓氮晶片外延层中铝元素含量的测试方法

摘要

本发明属于计量测试技术领域，涉及化学成分量测试技术领域。本发明涉及的铝镓氮晶片外延层中铝元素含量的试验方法，采用熔融的氢氧化钠对铝镓氮晶片外延层多次刻蚀，刻蚀掉的样品经过盐酸中和，形成铝元素的强酸性溶液，采用分光光度法测定刻蚀液的铝元素与铬天青S显色溶液546nm处的吸光度，通过标准溶液吸光度与铝元素浓度的关系可以得到样品溶液的铝元素浓度，再根据测定的铝元素的浓度获得晶片外延层中铝元素的含量；通过深紫外光致发光光谱仪测量刻蚀面荧光峰出现的位置控制刻蚀深度。重复测量的标准偏差大约为1%，加标回收率大于95%。适用于铝镓氮晶片外延层中铝元素含量的准确测试。