公开/公告号CN102104113B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-05-07
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN200910311849.X
申请日2009-12-18
分类号
代理机构北京华沛德权律师事务所;
代理人王建国
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所
入库时间 2022-08-23 09:18:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-05-07
授权
授权
2011-08-03
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 51/40 申请日:20091218
实质审查的生效
2011-06-22
公开
公开
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