公开/公告号CN102403314B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-04-16
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华虹宏力半导体制造有限公司;
申请/专利号CN201010275535.1
申请日2010-09-08
分类号
代理机构上海浦一知识产权代理有限公司;
代理人丁纪铁
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
入库时间 2022-08-23 09:18:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-04-16
授权
授权
2014-01-29
专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 27/04 变更前: 变更后: 登记生效日:20140103 申请日:20100908
专利申请权、专利权的转移
2012-06-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 27/04 申请日:20100908
实质审查的生效
2012-04-04
公开
公开
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