公开/公告号CN102419413B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-03-19
原文格式PDF
申请/专利权人 杭州士兰微电子股份有限公司;
申请/专利号CN201110230273.1
申请日2011-08-11
分类号G01R31/26(20140101);
代理机构33231 杭州宇信知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人张宇娟
地址 310012 浙江省杭州市黄姑山路4号
入库时间 2022-08-23 09:17:57
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-03-19
授权
授权
2012-05-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/26 申请日:20110811
实质审查的生效
2012-04-18
公开
公开
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