公开/公告号CN102508002B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-02-19
原文格式PDF
申请/专利权人 北京遥测技术研究所;
申请/专利号CN201110337849.4
发明设计人 周建发;
申请日2011-10-31
分类号G01R19/00(20060101);
代理机构11009 中国航天科技专利中心;
代理人范晓毅
地址 100076 北京市9200信箱74分箱
入库时间 2022-08-23 09:17:40
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-02-19
授权
授权
2012-07-18
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 19/00 申请日:20111031
实质审查的生效
2012-06-20
公开
公开
机译: 等离子体密度测量方法,用于测量等离子体密度的探针和等离子体密度测量装置
机译: 等离子体密度测量方法,用于测量等离子体密度的探针和等离子体密度测量装置
机译: 等离子体密度计头,等离子体密度测量装置,等离子体处理装置和等离子体密度测量方法