低温氮等离子体朗缪尔双探针诊断

摘要

采用朗缪尔双探针法对低温氮等离子体进行了诊断分析,得到了氮等离子体的电子密度和电子温度.通过朗缪尔双探针研究了不同射频功率、放电压强、轴向距离对等离子体参数的影响.研究表明,放电压强和轴向距离一定时,电子温度在20～160 W之间随射频功率的增加而减小;射频功率和轴向距离一定时,电子温度在10～45 Pa之间随放电压强的增大而增大;射频功率和放电压强一定时,电子温度在轴向距离0～20 cm之间随轴向距离的增大而增大,在20～50 cm之间随轴向距离的增大而增大.电子密度则是正好与之相反,随射频功率的增大而增大,随放电压强的增大而减小,随轴向距离的增大而减小.