一种双波导缝隙馈波的微波等离子体紫外灯装置设计

摘要

微波等离子体无极紫外光源是新一代气体放电光源,在污水处理,固化,医药等各方面都有应用。本文设计了一种双波导缝隙馈波的微波等离子体紫外灯的装置,通过开缝的方式将微波馈入半椭圆腔体来激发紫外灯发光。通过时域有限差分仿真计算验证了该装置具有低互耦和良好的场均匀性。该装置将用于固化实验,其对于以后微波无极紫外灯的设计方法也有一定的指导意义。