框状MEMS压阻谐振器

摘要

描述了一种新型的Si MEMS压阻谐振器。所述谐振器具有框形，例如环形框或多边形框，具有两个或更多锚定点。使用位于谐振结构的外缘或内缘的电极，来将该结构静电激励为具有所需模式形状的谐振。将该结构上的一个或多个局部掺杂区用于信号的压阻读出。在最优选的实施例中，该结构是环，所述环具有四个锚定点、两个电极以及在该结构的不同段处的四个压阻区。压阻区交替地位于该结构的外缘和内缘，使得可以收集来自不同区域的相同符号的压阻信号。该器件的优势在于大读出信号、大电极面积、鲁棒性、抑制平面外振动以及更大的可使用线性范围。