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公开/公告号CN102376520B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-12-25
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201010255068.6
发明设计人 汪明刚;刘杰;夏洋;李超波;陈瑶;赵丽莉;李勇滔;
申请日2010-08-17
分类号
代理机构北京华沛德权律师事务所;
代理人王建国
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2022-08-23 09:17:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-12-25
授权
2012-04-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20100817
实质审查的生效
2012-03-14
公开
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