钇的预注入对Ti-6Al-4V合金氮等离子体浸没离子注入行为的影响

摘要

为了提高氮等离子体浸没离子注入Ti 6Al 4V合金时氮原子的峰值深度 ,利用钇来增加氮在基体中的注入深度和扩散深度 ,先用 2 0kV的电压进行钇等离子体浸没离子注入处理 ,然后用 30kV的电压进行氮等离子体浸没离子注入处理。俄歇能谱测试表明氮原子的峰值深度有明显提高 ,注钇时间为 30min的试件 ,氮原子的峰值深度从 5 0nm上升到 10 0nm。摩擦性能测试表明处理后试件的抗磨损能力大大提高。