氮等离子体浸没离子注入TC4钛合金的研究

摘要

等离子体浸没离子注入（PIII）方法由于其优异的性能，近年来受到研究人员的高度关注。本文利用等离子体浸没离子注入（PIII）技术在TC4钛合金基体上注入氮。x射线衍射（xRD）表明注入的氮以TiN的形式存在于基体表面附近，且出现了（200）择优取向。x射线光电子能谱（XPS）表明氮元素含量随剥蚀先增加后减少，与SRIM软件的模拟结果吻合。纳米硬度测试表明注氮后材料的硬度显著提高，表面纳米硬度增加108％。