激光加工方法、激光加工装置以及太阳能电池板制造方法

摘要

本发明是有关一种激光加工方法、激光加工装置以及太阳能电池板制造方法。该激光加工装置将激光束分叉为多条激光束，使分叉的多条激光束对工件一面进行相对移动一面进行照射，由此来对工件实施规定的加工。此时，在激光束的分叉前的光路中配置相位型衍射光学元件机构，以将激光束转换为顶帽形强度分布。转换后的激光束由分叉机构而分别分叉为多条激光束。分叉机构以使转换后的多条激光束照射至工件为止的各光路长度彼此相等的方式来将激光束引导照射至工件。