激光加工方法、激光加工装置及太阳能电池板制造方法

摘要

本发明是有关于一种激光加工方法、激光加工装置及太阳能电池板制造方法。该激光加工方法可缩短激光束加工时的节拍时间且大幅提高整体的产量。在平台以固定速度移动的前后的时间内，也就是在平台达到固定速度为止的加速时及直到平台停止为止的减速时这两段时间内或其中一段时间内进行激光加工处理。此情况下，相应于平台的移动速度来对激光加工处理时的激光功率及激光频率进行控制。例如，在平台速度逐渐加速而达到固定速度为止的加速时以如下方式来控制：相应于平台速度的增大而将激光频率逐渐增大，且将最大限度受到抑制的激光功率逐渐解除。另一方面，在直到平台速度停止为止的减速时以如下方式进行控制：相应于平台速度的减少而将激光频率逐渐减小，且将激光功率的抑制值逐渐增大，以进行激光加工处理。