一种随机轮廓表面粗糙度校准样块及其制造方法

摘要

一种随机轮廓表面粗糙度校准样块及其制造方法，现有的校准样块无法标出轮廓的起点，只能校验触针式量仪的Ｒａ值（０．１５μｍ～１．５μｍ）。本发明采用研磨工艺，在光滑参考基准平面的中部分段加工出具有单向随机轮廓的测量区域。利用光滑参考基准平面和测量区域的交线来标出单向随机轮廓的起点，Ｒａ值可达０．０１５μｍ～１．５μｍ。除可用于校验触针式量仪的Ｒａ值外，还可对各种粗糙度量仪、测试方法的测量参数和轮廓图形进行标定和比对。