光学轮廓仪Z轴量值的一种校准方法

摘要

研究了光学轮廓仪Z轴量值的校准方法.首先介绍了光学轮廓仪的测量原理,基于该仪器的测量原理提出了一种使用外置激光干涉仪校准光学轮廓仪驱动马达的方法,并针对此校准方法进行了实验研究,设计了实验方案,对实验数据进行了分析,并进行了不确定度评定.最后使用VLSI标准台阶对已校准的光学轮廓仪进行了验证,结果表明:测量结果的一致性良好,本文提出的方法可以用于光学轮廓仪的Z轴量值的溯源.