含镧系元素的前体的制备和含镧系元素的薄膜的沉积

摘要

本文描述了沉积含稀土金属的层的方法及组合物。概括而言，所公开的方法使用诸如化学气相沉积或原子层沉积的沉积方法沉积包含含稀土的化合物的前体化合物。所公开的前体化合物包括具有至少一个脂族基团作为取代基的环戊二烯基配体和脒配体。