采用磁过滤阴极弧沉积技术制备含Ti类金刚石薄膜的研究

摘要

采用磁过滤阴极弧沉积技术以金属Ti为阴极在真空室中加入C2H2气体来制备含Ti类金刚石薄膜,研究不同的过滤弯管磁场和在有过滤磁场存在条件下不同的C2H2气压对含Ti类金刚石薄膜的成分和组织结构的影响规律.实验结果表明:薄膜是由TiC和类金刚石两种结构组成的复合薄膜.C2H2气压和过滤弯管电流都对含Ti类金刚石薄膜的成分和组织结构有显著的影响.增加C2H2气压和过滤弯管电流都使薄膜中Ti元素的原子百分含量逐渐下降,C元素的原子百分含量逐渐增加,TiC峰强度逐渐降低,半高宽逐渐增加.