短蚀刻配方的气体传输延迟解决方案

摘要

在一个实施方式中，一种用于提供多种气体的气体混合物的装置，具有多个质量流量控制器(MFC)，与多个MFC中每一个流体连通的混合歧管，位于该混合歧管上的多个混合歧管出口；以及与该多个混合歧管出口的每一个流体连通的隔离装置。