BiFe_1-yMn_yO₃外延复合薄膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种BiFe_1-yMn_yO₃外延复合薄膜，由下到上依次为(100)-取向LaNiO₃电极层、(001)-取向Bi_4-xLn_xTi₃O₁₂过渡层和(100)-取向BiFe_1-yMn_yO₃主体层，其中，Ln为镧系元素，x为镧系元素的摩尔当量，0＜x＜1，y为Mn的摩尔当量，0＜y≤0.05。本发明还公开了其制备方法，该方法以化学溶液法和层层快速退火工艺相结合、采用外延生长的方法制备复合薄膜，所得复合薄膜由三层组成，每层之间存在着良好的外延关系，均为外延生长形态，具有抗老化、抗漏电性能，高剩余极化（～80μC/cm²）的优点，在未来铁电和压电薄膜器件中具有良好的实用前景。