一种皱褶式切趾波导布拉格光栅滤波器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种皱褶式切趾波导布拉格光栅滤波器，包括基底、下包层、上包层、直波导和下光栅，下光栅的宽度按照钟形包络函数逐渐增加，位于端部的光栅线的宽度小于直波导的宽度，位于中部的光栅线的宽度大于直波导的宽度。本发明还提供了该滤波器的制备方法：在基底上涂覆下包层；制作抗刻蚀层；旋涂负性光刻胶；进行掩膜曝光；干涉出下光栅的结构；对下光栅区域进行显影，进行腐蚀；刻蚀出下光栅；去除余下的负性光刻胶，进行腐蚀；旋转涂覆芯层材料；蒸镀铝层；进行直波导的光刻；进行直波导以外区域进行显影，再进行腐蚀，制作直波导；旋转涂覆上包层，进行固化和真空干燥。该滤波器具有高反射率、高边模抑制比的切趾效果。