电扫描器装置以及具有电扫描器装置的激光加工装置

摘要

本发明的目的是提供能够高速而且高精度地定位使激光等光束反射的反射镜的电扫描器装置以及具有电扫描器装置的激光加工装置。一种电扫描器装置，具有：在转动轴(5)上支持的反射镜(2)；由在转动轴(5)上支持的编码器板(7)和在框架(12b)上固定的传感器头(8)组成的角度检测单元；和使用通过角度检测单元检测的角度检测值(14)使反射镜(2)跟踪角度目标值的伺服控制装置，其中，在反射镜(2)上设置检测反射镜(2)的变形量的应变传感器(10)，根据应变传感器(10)的输出信号(20)和角度检测单元的输出信号(14)定位反射镜(2)。