通过反应共同蒸发的氧化物薄膜生长的高产量沉积系统

摘要

一种用于在容纳于衬底支撑件上的衬底上生长薄膜的加热器包括多个加热器元件。容纳衬底的衬底支撑件至少部分地由多个加热器元件包围。多个加热器元件中的至少两个相对于彼此可移动，以便为衬底支撑件提供外部通道。氧袋形成在一个加热器元件中或单独的氧袋元件上，并被用于薄膜在衬底上的氧化。