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公开/公告号CN101866959B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-09-11
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201010175937.4
发明设计人 周健;孙晓玮;谈惠祖;周舟;周建华;
申请日2010-05-14
分类号
代理机构上海智信专利代理有限公司;
代理人潘振甦
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 09:16:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-09-11
授权
2010-12-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/0232 申请日:20100514
实质审查的生效
2010-10-20
公开
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