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一种廉价无序宽谱广角减反结构及其制作方法

摘要

本申请公开了一种廉价无序宽谱广角减反结构及其制作方法,其方法包括步骤:s1、在基底材料(或结构)表面沉积介质膜;s2、在所述介质膜表面形成金属胶体薄膜;s3、对所述金属胶体薄膜进行热处理,获得金属纳米结构;s4、以所述金属纳米结构为掩膜对所述介质膜进行刻蚀,形成减反结构;s5、去除金属纳米结构。本发明的介质纳米结构制备方案简单易行、可实现大面积、只需要低温、制备能耗低和效率高。而制备的无序介质纳米结构连同残余金属掩模可获得非常好的宽谱广角减反效果。

著录项

  • 公开/公告号CN105470341A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-04-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201410452042.9

  • 发明设计人 张瑞英;王岩岩;

    申请日2014-09-05

  • 分类号H01L31/18;H01L31/0216;

  • 代理机构南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙);

  • 代理人王锋

  • 地址 215123 江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路398号

  • 入库时间 2023-12-18 15:24:54

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-02-01

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L31/18 申请公布日:20160406 申请日:20140905

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2016-05-04

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20140905

    实质审查的生效

  • 2016-04-06

    公开

    公开

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