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有机钌络合物以及使用该钌络合物的钌薄膜的制造方法

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摘要

本发明的通式(1-1)(式中，X表示通式(1-2)表示的基团(式中，R

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2016-09-21

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C07C 49/92 授权公告日:20130814 终止日期:20150726 申请日:20070726

专利权的终止
2013-08-14

授权

授权
2009-10-21

实质审查的生效

实质审查的生效
2009-08-26

公开

公开

1. 有机钌络合物以及使用该钌络合物的钌薄膜的制造方法 [P] . 中国专利： CN101516818B . 2013.08.14
2. 有机钌络合物以及使用该钌络合物的钌薄膜的制造方法 [P] . 中国专利： CN101516818A . 2009-08-26
3. ORGANORUTHENIUM COMPLEX, AND METHOD FOR PRODUCTION OF RUTHENIUM THIN FILM USING THE RUTHENIUM COMPLEX [P] . 韩国专利： KR101467260B1 . 2014-12-01

机译：有机钌络合物，以及使用该钌络合物生产钌薄膜的方法
4. ORGANORUTHENIUM COMPLEX, AND METHOD FOR PRODUCTION OF RUTHENIUM THIN FILM USING THE RUTHENIUM COMPLEX [P] . 欧洲知识产权局专利： EP2053036A4 . 2011-04-13

机译：有机钌络合物，以及使用该钌络合物生产钌薄膜的方法
5. ORGANORUTHENIUM COMPLEX, AND METHOD FOR PRODUCTION OF RUTHENIUM THIN FILM USING THE RUTHENIUM COMPLEX [P] . 美国专利： US2010055313A1 . 2010-03-04

机译：有机钌络合物，以及使用该钌络合物生产钌薄膜的方法