用于测试微间距阵列的探针单元

摘要

本文公开了用于测试微间距阵列的探针单元，该探针单元在探针片有两行或更多行触点时使各行触点能与测试目标稳定地接触。探针单元包括：探针片，该探针片包括绝缘膜和在绝缘膜上形成的引线图案，其中图案化引线的特定部分构成与测试目标接触且在两行或更多行中形成的触点；紧固探针片的体块；以及设置至体块的按压构件，用于向测试目标按压触点，以使各行触点可分别由按压构件来按压。