光学多层膜过滤器、光学多层膜过滤器的制造方法和电子机器装置

摘要

本发明提供光学多层膜过滤器及其制造方法，该光学多层膜过滤器能降低灰尘的附着且能容易地除去附着的灰尘。光学多层膜过滤器10具有由形成于玻璃基板1上的两个以上的层构成的无机薄膜2。无机薄膜2中，在玻璃基板的表面依次交替层积TiO₂层和SiO₂层，最表层由SiO₂层(2L30)构成，在无机薄膜2的最表层的表面形成有含氟有机硅化合物膜5。并且，构成最表层的SiO₂层的密度为1.9～2.1g/cm³，进而无机薄膜2的最表层的SiO₂层设为第1层时，在第1层SiO₂层的下层的第2层(2H30)和第4层(2H29)选择性地形成密度为4.1～4.8g/cm³的TiO₂层，在第3层(2L29)选择性地形成密度为1.9～2.1g/cm³的SiO₂层。这些SiO₂层和TiO₂层使用真空蒸镀法成膜。