一种炭/炭加热器抗冲刷C/SiC涂层的制备方法

摘要

本发明公开了一种炭/炭加热器抗冲刷C/SiC涂层的制备方法，该方法为：一、将炭/炭加热器置于CVD炉内，通入碳源气体，在炭/炭加热器表面生成一层热解炭涂层；二、将装有固体硅料的石墨坩埚置于反应炉内，将表面生成热解炭涂层的炭/炭加热器置于石墨坩埚内的多孔石墨支架上，在温度为1500℃～1800℃，真空度为100Pa～3000Pa的条件下保温1h～4h，利用硅蒸气和热解炭反应生成一层SiC涂层。本发明的方法首先在炭/炭加热器表面沉积一层热解炭涂层，然后原位生成SiC涂层，保证加热器具有满足使用要求的电阻性能，同时防止SiCl₄、HCl等气体对加热器的腐蚀，提高抗冲刷能力，延长使用寿命。