一种中、低频等离子体加工设备和电极板

摘要

本发明公开了一种中、低频等离子体加工设备和电极板，涉及等离子体加工技术领域，为提高工艺过程中等离子体密度，并且适用于高温工艺环境而发明。本发明公开的中、低频等离子体加工设备，包括反应腔室、在反应腔室内部相对设置的上电极板和下电极板，所述上电极板为不锈钢板，所述上电极板与所述反应腔室内等离子体接触的表面设有涂层。本发明可用于等离子体加工技术中。