基于微/纳米金刚石过渡层的立方氮化硼涂层刀具的制备方法

摘要

一种基于微/纳米金刚石过渡层的立方氮化硼涂层刀具的制备方法，该方法主要步骤是：硬质合金衬底预处理；钽丝预处理；将衬底放入热丝法化学气相沉积设备中通过改变工艺参数，分别沉积微米级金刚石和纳米级金刚石；将沉积好的薄膜置于射频磁控溅射设备中用Ar离子进行预溅射处理；以hBN为靶材，在Ar气和N₂气气氛中以微/纳米金刚石为过渡层沉积立方氮化硼涂层。本发明工艺、设备简单，操作较容易，涂层与基底结合性能得到显著改善。