法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-07-10
授权
授权
2011-06-08
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 4/06 申请日:20090427
实质审查的生效
2011-04-20
公开
公开
机译: 水反应性Al复合材料,水反应性Al膜,Al膜的制造方法以及成膜室的构成部件
机译: 水反应性Al复合材料,水反应性Al膜,Al膜的制造方法以及成膜室的构成部件
机译: 水反应性Al复合材料,水反应性Al膜,Al膜的制造方法以及部件的成膜室