使用具有信心指标的虚拟量测的先进工艺控制系统与方法

摘要

一种先进工艺控制(Advanced Process Control；APC)系统与方法，以及当执行时进行此APC方法的计算机程序产品，用以上将虚拟量测(Virtual Metrology；VM)并入APC中。当一工件的一虚拟量测值被采用来替换其实际量测值时，本发明使用信心指标值(Reliance Index；RI)和整体相似度指标值(Global Similarity Index；GSI)来调整一批次至批次(Run-to-Run；R2R)控制器的至少一控制器增益(Gain)。RI用以判断此虚拟量测值的可信赖度，而GSI用以评估产生此虚拟量测值的组工艺数据与虚拟量测预测模型建模所用到的所有历史工艺数据间的相似程度。