具有灵敏度调整电路以及调整过程的微机电系统装置

摘要

本发明提供了一种微机电系统(microelectromechanical system，MEMS)装置，此MEMS装置包括：隔膜电容器，此隔膜电容器连接在电容器偏压源以及接地端之间；源极随耦电路，此源极随耦电路耦合到隔膜电容器；放大器，此放大器耦合到源极随耦电路，以将感测电压信号放大为输出电压信号；以及可编程调整电路，此可编程调整电路与放大器一起来调整增益，或者与电容器偏压源一起来调整施加到隔膜电容器上的电压。从而，输出电压信号具有目标灵敏度。