一种子孔径拼接中系统误差的修正方法

摘要

本发明公开了一种修正子孔径拼接中系统误差的方法，该方法首先利用辅助平晶参与的平面绝对检验获取参考平晶在拼接轴上的二维轮廓曲线，利用该轮廓曲线数据构建参考平晶的面形误差修正波面，在子孔径测量中进行实时修正。该方法可以最大限度的减少参考平晶的面形误差对于子孔径拼接中的倾斜系数求取的影响，有效提高了拼接波面的精度。