一种在子孔径拼接检测光学系统透射波前中调整平面反射镜倾斜的装置和方法

摘要

本发明公开了一种在子孔径拼接检测光学系统透射波前中调整平面反射镜倾斜的装置和方法，组合使用干涉仪与光电自准直仪，以调整透射波前检测中平面镜倾斜角度。该系统包括干涉仪，标准镜头，被测光学系统，双面平面反射镜，光电自准直仪，隔振台，五维调整台，支撑台，平移台，升降架，倾斜调整装置，显示控制器，利用干涉仪条纹在中间子孔径位置处调整平面镜，建立干涉仪、被测系统和平面镜平行的基准点，光电自准直仪角度清零，然后再在其它子孔径位置处，以自准直仪为基准调整平面镜的倾斜量，从而减小子孔径面形中的倾斜误差，提高子孔径拼接检测光学系统透射波前的精度。