子孔径拼接检验法中倾斜的影响及消除方法

摘要

在子孔径拼接检测大口径光学平面时,子孔径检测的数据往往存在倾斜,它将会导致拼接的数据沿着一个方向的倾斜累加,最后引入很大的倾斜误差.由于这种倾斜误差难以手动修正,通过实验,先用最小二乘法编制软件对所测子孔径数据进行消除倾斜处理,然后把去倾斜的子孔径数据进行拼接处理,对比消除倾斜的子孔径拼接结果与全口径直接检测结果,证明了去倾斜处理在子孔径拼接检测处理中的有效性.