一种基于核壳结构NiFe2O4@NiO复合材料的二甲苯气体传感器及其制备方法

摘要

一种基于核壳结构NiFe2O4@NiO复合材料的二甲苯气体传感器及其制备方法，属于金属氧化物半导体气体传感器技术领域。传感器由外表面金电极的Al2O3陶瓷管衬底、涂覆在Al2O3陶瓷管衬底外表面和金电极上的MOF衍生核壳结构NiFe2O4@NiO复合材料、置于Al2O3陶瓷管内的镍铬加热线圈组成。本发明通过溶剂热法、离子交换法和刻蚀技术相结合制备出Fe/Ni‑MOF前驱体，经过烧结得到具有核壳结构的敏感材料。该复合材料具有丰富的孔隙结构，为气体分子扩散提供传输通道，刻蚀过程和P‑P异质结构使材料具有丰富的表面活性位点和化学吸附氧，有利于气体分子的吸附和反应，使得传感器具有优异的气敏性能。