公开/公告号CN101762981B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-04-17
原文格式PDF
申请/专利权人 信越化学工业株式会社;
申请/专利号CN200910262157.0
申请日2009-12-25
分类号
代理机构隆天国际知识产权代理有限公司;
代理人吴小瑛
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:14:03
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-04-17
授权
授权
2011-09-28
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/039 申请日:20091225
实质审查的生效
2010-06-30
公开
公开
机译: 具有环十二烷基助剂基团和防止酸扩散到未暴露区域的化学增强型光阻剂的共聚物,以及包括相同成分的化学增强型光阻剂组合物
机译: 新型亚磺酰基二恶烷化合物,包含该化合物的化学增幅型抗蚀剂的光酸发生剂,包含该化合物的化学增幅型抗蚀剂的以及使用该材料的图案形成方法
机译: 化学增强型正阻剂组合物,用于形成具有出色图案特征,低线宽变化的阻性图案及其制粉工艺