准直超透镜及设计方法、基于准直超透镜的准直系统

摘要

准直超透镜及设计方法、基于准直超透镜的准直系统，其中，基于准直超透镜的准直系统，包括：VCSEL阵列和准直超透镜阵列；VCSEL阵列包括若干个VCSEL单元；准直超透镜阵列包括若干个准直超透镜，若干个准直超透镜与若干个VCSEL单元一一对应设置，对VCSEL单元的发射光束进行准直；准直超透镜由不同半径的非晶硅圆柱排布组成，其中，各非晶硅圆柱的半径根据准直超透镜各位置的位置相位来确定，以使不同半径的非晶硅圆柱根据准直超透镜的位置相位分布来排布。通过采用特定相位分布的准直超透镜设计方法来突破传统曲率半径加工的限制，通过特定半径尺寸非晶硅圆柱的排布代替传统光学凸透镜的曲面分布，基于高精度的微纳加工工艺，提高准直性能。