显微组件下跨尺度原位微纳米拉伸/压缩液压驱动测试装置

摘要

本发明涉及一种显微组件下跨尺度原位微纳米拉伸/压缩液压驱动测试装置，属于机械类。包括液压精密驱动控制单元、测试执行单元、三自由度调整工作台、测试检测单元、连接及支撑单元；伺服液压缸Ⅰ~Ⅳ的输出端分别与移动车架组相连，所述移动车架组与基板滑动连接；所述伺服液压缸Ⅰ、Ⅱ分别固定在前侧板上，伺服液压缸Ⅲ、Ⅳ分别固定在测力车架组上，卡具Ⅰ、Ⅱ分别固定在移动车架组及测试车架组的上方。优点在于：体积小、重量轻、刚度高、结构紧凑、测试精度高，并且能够在线监测试件微观变形以及损伤断裂过程，可提供的测试内容丰富等特点，可得材料的弹性模量、屈服极限及断裂强度等重要力学参数，也可获得样品的抗疲劳性能。