MEMS流量传感器敏感结构的污染失效时间预测方法

摘要

本发明公开了一种MEMS流量传感器敏感结构的污染失效时间预测方法，包括：S1：根据MEMS流量传感器的工作环境、颗粒物沉积模型以及无量纲沉积速度，得到污染物沉积厚度随时间的变化关系；S2：根据MEMS流量传感器仿真模型评估沉积量对传感器测量误差的影响，得到污染物厚度与测量结果误差的关系；S3：根据所述得到污染物厚度与测量结果误差的关系、所述污染物厚度与测量结果误差的关系和测量误差的失效阈值，预测MEMS流量传感器由于敏感结构污染引发的失效时间。本发明能够预测MEMS流量传感器敏感结构的污染失效时间。