空圧用流量センサ②：熱式MEMSフローセンサ－脈流下での計測を可能にした独自構造と特性

摘要

近年、各種流量計測分野においては、さまざまな使用環境化での計測精度の向上が求められており、各社とも温度特性や応答性を向上したフローセンサを開発し、用途に応じた適用が可能になってきている。 当社においても上述のようなニーズに見合った各種センサを開発しラインナップを拡充しているが、中でも脈流を正確に計測可能なフローセンサを独自に開発した。 これは気体の流入源としてダイアフラム方式のポンプを使用することも多いことに着目して商品化したものである。この方式のポンプにおいては、ダイアフラムの動きに応じて流量が周期的に変化する脈流となることが知られている。 このような脈流では計測値が安定せず、正確な流量計測ができなかった。 我々はこの課題解決に応えるべく、MEMS技術から製造される小型の熟式半導体フローセンサを応用したフローセンサにおいて、脈流下でも安定して正確に流量計測ができる商品を開発したのでこれを紹介する。