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高g值MEMS加速度传感器敏感元件的结构分析

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摘要

介绍了几种高g值MEMS加速度传感器敏感元件的结构和原理,并对其结构特性进行了分析,最后给出了研究过程中所采用的圆膜片结构和仿真结果.

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来源
《探测与控制学报》 |2002年第4期|14-16,28|共4页
作者
宋萍; 李科杰; 石庚辰; 卢四华;
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作者单位

北京理工大学机电学院,北京,100081;

北京理工大学机电学院,北京,100081;

北京理工大学机电学院,北京,100081;

北京理工大学机电学院,北京,100081;

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正文语种 chi
中图分类测试技术与设备;
关键词
MEMS; 加速度传感器,结构分析;

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