微型机电系统开关及微型机电系统开关的制备方法

摘要

本申请实施例提供了一种微型机电系统开关及微型机电系统开关的制备方法。该微型机电系统开关包括：衬底；信号线，设置在衬底一侧；开关梁，位于信号线远离衬底的一侧，开关梁设有容置孔，容置孔在衬底上的正投影位于信号线在衬底上的正投影内；导电部，与信号线连接且位于信号线和开关梁之间，导电部在衬底上的正投影位于容置孔在衬底上的正投影内。本申请实施例能够有效提高关态电容与开态电容的电容比，从而提高微型机电系统开关的射频性能。