PN结制备的方法、PN结和调制器

摘要

本申请揭示了PN结、PN结制备方法和调制器。一种PN结包括平板波导层和设置在平板波导层上的沿特定方向间隔排列的多个波导。平板波导层包括在特定方向上交替排列的P型掺杂区域和N型掺杂区域，且两个区域的交界处形成沿特定方向呈收尾相接的S型的载流子耗尽区。间隔排列的多个波导的每一个包括P型掺杂区域和N型掺杂区域，两个区域的交界处形成一个载流子耗尽区。间隔排列的多个波导的P型掺杂区域、N型掺杂区域和载流子耗尽区在平板波导区域表面的投影和平板波导层对应区域在平板波导区域表面的投影基本重合。该PN结的调制效率较高、光学损耗较低。可选地，该PN结可以采用倾斜角度离子注入掺杂实现，能够降低其制备成本。