法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-10-14
公开
发明专利申请公布
机译: 不良聚类搜索方法,不良聚类搜索设备,存储不良聚类搜索程序的记录介质,缓解电路优化方法,过程管理方法,洁净室管理方法,半导体器件的制造方法,问题处理的提取方法和发行设备,问题处理和记录介质,其存储用于提取问题设备的程序,问题处理和设备用于提取问题设备,以及搜索母体废料的方法
机译: 缺陷簇的恢复方法和装置,存储有缺陷的簇簇-恢复程序的记录介质,缓解电路的优化方法,过程控制方法,清洁室控制方法,半导体制造方法,过程和问题仪器,用存储提取程序记录介质的问题过程,以及检索母体的问题仪器和刮擦确定方法
机译: 管道诊断设备,管道诊断方法,鉴别问题优化设备,鉴别问题优化方法,参考分布生成设备,参考分布生成方法和存储介质