半导体工艺设备的数据采集方法、装置和半导体工艺设备

摘要

本发明实施例提供了一种半导体工艺设备的数据采集方法、装置和半导体工艺设备。该方法包括：设定针对半导体工艺设备的数据采集任务的采集间隔；创建定时器，并设置定时器的计时时长为采集间隔；将操作系统针对定时器的操作时长从默认时长修改为采集间隔；运行定时器，在定时器的计时达到采集间隔时，触发针对半导体工艺设备的数据采集任务。本发明通过修改操作系统针对定时器的操作时长的大小，使得操作系统针对定时器的操作时长的大小与采集间隔相匹配，避免了定时器定时结束后，还需要延迟一段时间才执行下一次数据采集任务，提高了数据采集的性能。