一种中性气体容性耦合等离子体放电的数值模拟方法

摘要

本发明公开了一种中性气体容性耦合放电等离子体的数值模拟方法，该方法包括：步骤1、根据腔室中性气体流动构建相应的中性粒子仿真模型，采用直接模拟蒙特卡洛法模拟中性粒子运动，输出流场信息；步骤2、根据中性气体容性耦合放电产生的带电粒子构建相应的带电粒子仿真模型，采用粒子网格法，初始化带电粒子均匀分布于仿真空间中；步骤3、采用泊松方程计算格点上的电势和电场分布；步骤4、通过权重函数将格点上的电场累加到粒子位置，推动粒子运动；步骤5、采用蒙特卡洛方法处理粒子间的碰撞；步骤6、重复步骤2到步骤5，在每个时间步长内更新格点电场和粒子属性，直至达到稳态，输出粒子能量、速度、角度等分布。