具有力觉感知的二维大行程解耦微纳米平台

摘要

一种具有力觉感知的二维大行程解耦微纳米平台，本发明在放大机构与微动平台之间设置了带力敏支链的导向模块，在力敏支链上布置有应变片，压电陶瓷驱动器驱动位移经放大机构放大后带动导向模块中部产生垂直于驱动方向的移动，这样导向模块两端的力敏支链将产生变形，应变片通过组桥解算出导向模块的位移量和所受载荷，用于推算微动平台的移动位移与桥路电压输出和压电陶瓷驱动电压间的映射关系，以实现对微动平台的精确闭环控制，同时对称布置的压电陶瓷驱动器和放大机构，能够实现微动平台大行程的位移输出和解耦控制。本发明能够实现平面二维正交运动的解耦，具有行程大、精度高、便于控制等特点，特别适合在大行程高精度精微操作台中使用。